Оглавление:
Интерферометры
- Устройства, в которых для измерения используется явление оптических помех, являются наиболее точными. Они используются для окончательного измерения, калибровки и проверки деталей модели. В сочетании с лазерным источником света можно регистрировать изменения длины до 10-13 м. Промышленные интерферометры включают окуляры, экраны или цифровые считывающие устройства. Интерферометр создан в двух модификациях для вертикальных (мод.264) и горизонтальных (мод.273) измерений. Контактный интерферометр имеет переменную цену деления (от 0,05 до 0,2 мкм) и основан на методе Майкельсона (рис. 5.11).
В таком интерферометре свет проходит через конденсатор 3 от источника света 2 и Рисунок 5.12. Контактный интерферометр Фильтр 4 падает на полупрозрачную разделительную пластину 5, от которой часть света попадает на зеркало 8, прикрепленное к штырю с измерительным чипом, и проходит через компенсационную пластину 6 индикаторного зеркала 1. Толщина.
При разработке типового технологического процесса за основу может быть взят наиболее совершенный действующий технологический процесс или спроектирован новый. Людмила Фирмаль
При освещении белым светом в поле зрения окуляра появляется центральная черная и боковая цветная полоса с уменьшающейся интенсивностью (рис. 5.12, а). При входе в фильтр 4 (см. Рисунок 5.11), который создает монохроматическое освещение, в поле зрения окуляра появляется полоса такой же интенсивности, и это расстояние соответствует половине световой волны X фильтра.
Для показаний окуляра и экрана положение измерительного наконечника определяется черной полосой, а цена разделения шкалы отсека определяется по формуле c = 0,5Sh / L (5,8). Где k — количество полос помех, которые соответствуют категории масштаба. Вертикальный контактный интерферометр (рис. 5.12, б) с считывателем 7 имеет стойку 1, которая позволяет использовать храповик 8 для предварительной регулировки положения кронштейна с трубкой. Кроме того, переместите стол 4 с помощью микрометрического винта 3 со стопором 2 и отрегулируйте шкалу трубки ± 10 с помощью винта 6. Забытый лаз.
Теплозащитный экран 5 предусмотрен для устранения теплового воздействия оператора на часть D, подлежащую измерению. Диапазон измерения таких устройств составляет от 0 до 150 мм. Использование экрана в контактном интерферометре делает его очень простым в использовании. Ошибка предела считывания b, мкм, количество делений шкалы n, отсчитанных от нулевого хода, цена деления шкалы s, мкм и погрешность измерения оптической длины волны ДА по сертификату (ДА при ± 0,002 мкм) b = ± (0,03 + 1,5 лс ДА / А). (5.9)
- В интерференционном устройстве цифровой шкалы (см. Рисунок 5.11) фотоумножитель ФЭУ служит чувствительным элементом считывающего устройства, и сигнал проходит через преобразователь П и усилители U1 и U2 и демодулятор D1 и D2 через нулевой орган Поставляется на HO1 и HO2. Шаговый распределитель SR выполнен в виде делителя напряжения. Зеркало, прикрепленное к подвижной пластине пьезоэлектрического преобразователя считывания, совершает колебательное движение амплитуды A = A / 8 от источника переменного напряжения.
Затем сигнал переменного тока со многими гармоническими компонентами подается на вход трубки фотоумножителя. Из-за взаимного смещения зеркал 1 и 8 в крайних местах освещения, которые расположены на расстоянии A / 4, сигнал первой гармоники равен нулю. Эти точки считаются источником шкалы интерферометра. Дополнительное смещение зеркала 8 во время измерения определяется с помощью ступенчатого распределителя SR. Если есть дополнительное отклонение, напряжение на выходе демодулятора не равно нулю, и нулевой орган показывает отклонение от нулевого положения системы, поэтому компенсационное напряжение ступенчатого распределителя действует как мера дополнительного смещения.
Основными узлами индикатора являются циферблат 1 со шкалой, ободок 2, стрелка 3, указатель 4 числа оборотов стрелки, гильза 5, измерительный стержень 6 с наконечником 7, корпус 8, ушко 9 и головка 10 стержня. Людмила Фирмаль
Движение записывается блоком индикации (см. Рисунок 5.10). Использование лазера способствует увеличению производственной мощности интерферометра (повышение точности измерения и дальности, эталонной скорости, чувствительности к вибрации, шуму, внешнему освещению и т. Д.). Это связано с высокой монохроматичностью лазера, низкой расходимостью луча и высокой интенсивностью светового потока. На основе лазера был создан точный и современный инструмент для измерения длины, скорости, ускорения и оптических свойств различных сред. Лазерные интерферометры используются для измерения линейных перемещений до 1 м.
В качестве источника для монохроматических измерений используется гелий-неоновый лазер, стабилизированный провалом ОЗУ. Они используются считывающим устройством (рисунок 5.13). Координатно-измерительный станок, измерительный микроскоп, прецизионный станок и др. С внедрением лазерных интерферометров, например, при изготовлении сверхмалых интегральных электронных схем, размер компьютеров может быть уменьшен в несколько десятков раз, точность проверки измерения хода может быть увеличена в 500 раз, а разрешение может быть увеличено. До 10 «* микрон при контроле размеров до 10 м.
При выравнивании направляющих на больших машинах обеспечивается точность 2 микрона на метр (до нескольких десятков метров), например, Останкино в центре лазерного зенита Телебашня с точностью 6 мм, которая может контролировать вертикальность оси.
Смотрите также:
| Источники промахов | Приборы с фотоэлектрическими преобразователями |
| Государственная система стандартизации | Краткие сведения о международной стандартизации |
