Оглавление:
Контактные интерферометры
- Используйте контактный интерферометр, чтобы проверить окончательное измерение и класс точности 0 для длины второй, третьей и четвертой цифры. Измерьте очень точные продукты, сравнивая с 1 и 2, а также окончательные измерения и примерные детали. Интерферометр представляет собой измерительную трубку, установленную в вертикальной или горизонтальной стойке. В интерференционной трубке (рис. 95, а) свет от лампы 1 проходит через конденсатор 2 и разделяется на два когерентных луча полупрозрачной пластиной 8. Один луч проходит через пластину 8, отражается от зеркала 5, неподвижно соединенного с измерительным стержнем 6, и возвращается на пластину 8.
Второй луч отражается пластиной 8, проходит через компенсационную пластину 4 и возвращается к пластине 8 через зеркало 7. Восемь лучей создают интерференционную картину. Объектив 9 проецирует эту фотографию на стеклянную пластину 10 с примененной шкалой. Различные участки шкалы наблюдаются с помощью окуляра 11. Окуляр 11 вращается вокруг оси 12. Фильтр 3 служит для калибровки шкалы. Когда зеркала 5 и 7 перпендикулярны лучу, оптическая разница в пути отраженного света <8 от разных частей поверхности зеркала к пластине является постоянной, а шкала освещается равномерно.
Поэтому, чтобы гарантировать минимальную погрешность замкнутого звена, размерная цепь должна состоять из наименьшего возможного числа звеньев. Людмила Фирмаль
Наклон зеркала 7 с помощью специального винта создает переменную оптическую разницу (виртуальный воздушный клин) на пути мешающего луча вдоль пластины 8 и интерференционную картину полос одинаковой ширины на фоне шкалы Наблюдается (рис. 95, б). Измерение выполняется при белом свете (без фильтра). На шкале есть цветные радужные полосы с уменьшающейся яркостью с обеих сторон черного пояса. Это указатель на шкалу, на которой производится чтение. Указатель перемещается вдоль шкалы одновременно с движением зеркала 5, связанного с измерительной планкой. Поскольку ширина интерференционных полос зависит от угла наклона зеркала a, цена разделения шкалы интерферометра является переменной величиной 7: 6 = X / (2a).
Он выбирается в соответствии с требуемым пределом измерения и регулируется путем изменения угла наклона зеркала 7. Рисунок 96. Вертикальный интерферометр При освещении монохроматическим светом через фильтр 3 они заполняются. Это потому, что интерференционная картина состоит из множества черных и цветных оттенков. Легкая потеря Счет. Подсчитать количество Лента Terrain , между р де Масштаб и цена разделения определяются по формуле С = (Х / 2) (т, п). Х длина волны света в микронах. Количество полос для подсчета должно определяться по формуле fc = 160 C, а количество делений шкалы равно l = (X / 2) ( / C) = 160X / 2.
- Рекомендуемое значение для шкалы интерферометра составляет 0,05. 0,1 и 0,2 мкм. Если длина волны, передаваемой фильтром, равна X = 0,550 мкм, эти значения C соответствуют количеству полос с подсчетом , равным 8, 16 и 32, а число делений в шкале равно 44. Когда регулировочные и измерительные стержни подняты, самые четкие интерференционные полосы перемещаются к центру шкалы. Изменяя угол наклона зеркала 7, объедините необходимое количество полос k с вычисленным количеством делений шкалы l. Регулировка считается удовлетворительной, если измерительный стержень многократно останавливается и суммарная погрешность L диапазона и n деления не превышает 1/10.
Шкала интерферометра включает в себя 50 шкал слева и справа от нулевого бара. Предел отображения составляет ± (2,5 … 1О) микрон. Для цены разделения C = 0,1 мкм допуск составляет D = 0,09 мкм. В вертикальном интерферометре (рис. 96) трубка 2 со стандартным диаметром 28 мм прикреплена к стойке C 1. Кремальера 4 перемещает кронштейн 3 направляющей колонны 5. Используйте винт / для перемещения шкалы прибора в пределах ± 10 шкал. Прозрачный теплозащитный экран прикреплен к трубке 7. Рисунок 97: Горизонтальный интерферометр Torus 6 подает питание на систему освещения. Назначение стоечного узла такое же, как и у оптимизометра OVE 02 (см. Рис. 67, б).
Серьезная ответственность возникает в случае причинения имущественного ущерба предприятию, организации или государству. Людмила Фирмаль
Установка прибора на ноль устанавливает черную ахроматическую полосу в качестве указателя на нулевую шкалу шкалы. Во время измерения окончательное измерение заменяется продуктом, обнаруженным путем перемещения указателя на шкале, определяется отклонение размера продукта и счет умножается на цену разделения шкалы. В набор инструментов входят сферические и плоские измерительные наконечники и три съемных плоских стола. Ребристый стол с выступающей сферической вставкой с максимальным наконечником 20 мм и ребристый стол для параллельных плоских изделий с максимальным размером 150 мм. Амортизатор и регулировочный инструмент также прикреплены к устройству.
Кроме того, могут быть установлены устройства для измерения диаметра шариков и роликов и толщины тонких балок. Горизонтальный интерферометр (рис. 97) измеряет продукты размером до 500 мм. Трубка интерферометра 4 и пиноль 2 прикреплены к измерительной головке 1. Они перемещаются вдоль направляющей кровати 6 с помощью маховика 5. Стол 3 объектов может перемещаться в трех направлениях, перпендикулярных друг другу, и вращаться вокруг вертикальной и горизонтальной осей.
Верх стола объекта свободно перемещается вдоль измерительной линии шарикового подшипника. Измеряемый продукт всегда соприкасается с наконечниками измерительных трубок и штифтов Измерения с горизонтальным интерферометром выполняются так же, как измерения с горизонтальным оптимизометром.
Смотрите также:
| Поверка притираемости и плоскостности мер | Интерференционные методы измерений концевых мер длины |
| Технический интерференционный метод поверки концевых мер длины | Методы и средства поверки угловых мер |
