Оглавление:
Технический интерференционный метод поверки концевых мер длины
- Подтверждаемый P и исходная мера AND тереться о нижнюю стеклянную пластину 1 (Рис. 92, a) в положении I, плотный контакт по длинному краю и короткому краю на одной прямой линии Это в. На поверхности меры со стороны пластины не должно быть грязных желтых полос. Это указывает на то, что между мерой и тарелкой есть неизвлеченный слой воздуха или смазки. Длина меры проверяется в средней точке O j и углах G, 2 , 3 , 4 точек. Положение II, F / Когда проверяются угловые точки 2 и 4 , мера P переносится из положения I и поворачивается на 1802 без перерыва от пластины. Рисунок 92.
Длина при измерении и установке окончательного измерения стеклянной пластины: a позиция измерения на пластине впрыска: b позиция верхней пластины на измерении а) х и я 4 X тф, если л 1 Рисунок 93. Измерение средней длины конечного измерения: o ZJ O; b AKO; in s> 0 При измерении средней длины поверхности меры 3 верхняя стеклянная пластина 2 прикладывается под очень небольшим углом (рис. 92, б). Перекрестие на CD параллельное короткой стороне, и точка перекрестия должна совпадать со средней точкой О. Слегка нажмите на верхнюю пластину, чтобы изменить угол наклона, и убедитесь, что полоса помех параллельна линии CD проверяемого измерения.
Поле допуска конуса-это область в пространстве, где должны быть расположены все точки на фактической поверхности конуса. Людмила Фирмаль
При измерении чаще всего встречаются три случая. 1. Средняя длина основных P и I равна (рис. 93, а). Первая полоса расположена на одинаковом расстоянии от края клина AV. В этом случае, если вы встряхиваете пластину, вы можете понять, что полоса / измерение AND проходит перекрестие CD и FE, а измеряемая полоса 1 соответствует линии CD. 2. Средняя длина меры P короче, чем у меры I (рис. 93, б). Strip / Measure P находится ближе к краю AB. Точка перекрестия соединяется с полосой 1 на меру. Кроме того, соотношение расстояния x между полосой 1 на линии CD и мерой Р и шириной полосы b оценивается на глаз.
- Отклонение между длиной меры и длиной меры составляет D1 = (x / b) (K / 2). В этом случае Х / 6 = 0,5 и D1 = 0,5 0,3 = 0,15 мкм. 3. Средняя длина меры P длиннее, чем меры I (рис. 93, в). Близко к основной группе 1 край AB. Линия CD выравнивается, чтобы измерить P полосу 1, а смещение x оценивается вдоль линии EF. В этом случае х = 0,36 и D / = 0,3 0,3 = 0,09 мкм. При определении средней длины при отсутствии полосы 1 между линией CD и ребром AB Рисунок 94. Конечное измерение длины намерения в угле 9 95. Трубчатый контактный интерферометр: Рисование И п Рассмотрим не только дробную часть длины волны XFB, но и порядок полос.
Пластина без скоса может использоваться при измерении в угловой точке измерения. В этом случае обратный отсчет производится по линии главного перехода от края клина. Если мера отполирована в позиции / (см. Рис. 92, а) и верхняя пластина прижата к краю меры, где расположены точки 3 и 4 (рис. 94), отклонение длины меры П (рис. 92, а) измерить длину 3 и точку 4 / = (Li nl) x / b ^ = (1 2 0,8) 0,3 = 0,54 мкм. Где u = 1 и nn = 2 число основных полос I и II, а дробная часть x / b = 0,8 между ними считается.
Чтобы исключить такую возможность, комплексные показатели качества умножаются на так называемый коэффициент отбраковки, что означает, что один из важнейших единичных показателей превышает допустимые пределы, а во всех остальных случаях это невозможно. Людмила Фирмаль
В положении f (см. Рис. 92, а) также проверяется отклонение точки от меры П от длины меры в точке 2, и верхняя пластина прижимается к противоположному краю. В положении II длина измерения проверяется в точках 2 и 4 . Разница между минимальной измеренной длиной и максимальной измеренной длиной равна отклонению окончательного измерения от параллелизма плоскости.
Смотрите также:
| Плоские стеклянные пластины | Контактные интерферометры |
| Поверка притираемости и плоскостности мер | Интерференционные методы измерений концевых мер длины |
